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IWAKI易威奇风囊FS系列

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产品说明

IWAKI易威奇气动风囊泵FS系列

FS 系列
外型小巧、低成本、高速冲程的气动风囊泵

高速冲程

提升泵的冲程速度 (最高达240 spm),让制造过程中,大大减少泵的尺寸、重量、成本,及降低脉动。

无污染设计

过流端零件均采用氟树脂材质,没有金属零件外露的设计,外壳采用氟树脂材质。使用独有的轴封 (已申请专利),能显著降低颗粒的产生。

液体输送温度范围宽泛/高吐出压力

液体输送温度范围高达5 - 180°C,吐出压力高达45MPa。不仅适用于清洗和CMP制程,同时适用于化学液体供药。

易于维护

更换开关无需拆卸,不需定期收紧螺栓,减少了停机时间。

传感器驱动系统

内置式开关通过传感器驱动系统打开/关闭电磁阀。因此,即使连接各种控制器,亦可以轻易控制吐出量。

 

规格

最大吐出量

55 L/min

最大吐出压力

0.5 MPa

最大耗气量

670 NL/min

最大冲程率

240 spm

主要材质

PTFE, PFA

液体输送温度范围

5 ~ 180 °C



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